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Linear Coater
•제작사┃모델명
Slit Coater
•장비개요
대형 기판위에 포토레지스트를 슬릿방식을 이용하여 코팅
•응용분야┃주요용도
반도체, 디스플레이, LED용 포토레지스트 코팅
•주요사양┃specification
반도체, 디스플레이, LED용 포토레지스트 코팅
포토레지스트 coating
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