Co2 Injection
• S-ZERO SERIES
• 적용분야반도체세정공정,LCD세정공정,Quartz 및 유리세정등..
정전기 제거가 필요한 세정 공정
• 특징
비금속 재질의 비저항 SENSOR 사용으로 반도체 세정 공정에 적합.
INJECTION MODULE 교체의 편리성
S-ZERO SYSTEM 의 소형화
User 운전조건에 적용가능한 System 및 설계 가능
• S-ZERO 300
• 적용분야세정 전분야(고압세정)
• 특징
정전기 제거 탁월한 효과
세정력 강화
일본 제품 대비 30%절감 효과
운영 비용 절감
빠른 납기
• 탄산가스주입장치
• 적용분야일반 산업 세정,초음파 세척기, 자동세차기, 식음료 분야, 물관리 분야
• 특징
고농도 탄산 가스 주입 가능
막 방식으로 소형화 가능
미세먼지 제거
수돗물 절감 효과 및 브러쉬 대체 효과
· 제품사양
| 항 목 | 내 용 | ||
|---|---|---|---|
| 형 식 | CO2 Injection System | ||
| 품 명 | S-ZERO 100 | S-ZERO 200 | S-ZERO 300 |
| 처리 유량(ℓ/min) | 0 ~ 20 | 0 ~ 40 | ~ 60 |
| 비저항 조절 범위 (제어 레벨) |
0.1 ~ 1.0[㏁·㎝] 설정 비저항치 +15% ~ -15%(정 유량시) |
||
| 원수수압 | 0.05 ~ 0.30 [MPa](상용시) Max 0.4[MPa] | ||
| 비저항 조절 밸브 | PFA Needle valve | ||
| 탄산 가스 압력 | 공급압 0.2[MPa]미만, 설정 범위 0.05~0.15[MPa] | ||
| 탄산 가스 Slow Leak |
Speed Controller(SMC社) 배출량 10~30[㎖/min] |
||
| 탄산가스 공급 접속부 | Gas Outlet:1/4[Inch] PILLAR SUPER 300 TYPE | ||
| 탄산가스 Drain 접속부 | Gas Outlet:1/4[Inch] PILLAR SUPER 300 TYPE 반자동 퍼지(solenoid밸브), Slow Leak 겸용 배출구 |
||
| 탄산가스 용해 모듈 | 1EA | 2EA | 4EA |
| 비저항계 | AER-102-SE (SHINKO社) | ||
| 비저항 센서 | Sensor(SHINKO社) | ||
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