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Co2 Injection

S-ZERO SERIES

• S-ZERO SERIES

• 적용분야
  반도체세정공정,LCD세정공정,Quartz 및 유리세정등..
  정전기 제거가 필요한 세정 공정

• 특징
  비금속 재질의 비저항 SENSOR 사용으로 반도체 세정 공정에 적합.
  INJECTION MODULE 교체의 편리성
  S-ZERO SYSTEM 의 소형화
  User 운전조건에 적용가능한 System 및 설계 가능

S-ZERO 300

• S-ZERO 300

• 적용분야
  세정 전분야(고압세정)

• 특징
  정전기 제거 탁월한 효과
  세정력 강화
  일본 제품 대비 30%절감 효과
  운영 비용 절감
  빠른 납기

• 탄산가스주입장치

• 적용분야
  일반 산업 세정,초음파 세척기, 자동세차기, 식음료 분야, 물관리 분야

• 특징
  고농도 탄산 가스 주입 가능
  막 방식으로 소형화 가능
  미세먼지 제거
  수돗물 절감 효과 및 브러쉬 대체 효과

· 제품사양

항    목 내            용
형   식 CO2 Injection System
품   명 S-ZERO 100 S-ZERO 200 S-ZERO 300
처리 유량(ℓ/min) 0 ~ 20 0 ~ 40 ~ 60
비저항 조절 범위
(제어 레벨)
0.1 ~ 1.0[㏁·㎝]
설정 비저항치 +15% ~ -15%(정 유량시)
원수수압 0.05 ~ 0.30 [MPa](상용시) Max 0.4[MPa]
비저항 조절 밸브 PFA Needle valve
탄산 가스 압력 공급압 0.2[MPa]미만, 설정 범위 0.05~0.15[MPa]
탄산 가스
Slow Leak
Speed Controller(SMC社)
배출량 10~30[㎖/min]
탄산가스 공급 접속부 Gas Outlet:1/4[Inch] PILLAR SUPER 300 TYPE
탄산가스 Drain 접속부 Gas Outlet:1/4[Inch] PILLAR SUPER 300 TYPE
반자동 퍼지(solenoid밸브), Slow Leak 겸용 배출구
탄산가스 용해 모듈 1EA 2EA 4EA
비저항계 AER-102-SE (SHINKO社)
비저항 센서 Sensor(SHINKO社)

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