탈기 Module
· 적용분야
Photo Resist, thinner, IPA, 초순수, 염산,황산 등 각종 강산성 용액 및 각종 유기용제 탈기에 사용 가능.
· 특징
기존 막방식 탈기의 재질은 주로 폴리올레핀(Polyolefin )또는 PTFE(Teflon)막
방식을 사용하고 있지만 폐사는 박막의 PFA(Teflon)막을 채택하여 내화학성을 높여 기존보다 얇은 탈기막을 구현하여 이로 인한 탈기효율은 극대화 시켰습니다.
탈기의 핵심인 탈기막 재료를 PFA(Teflon)로 사용하기 때문에 대부분의 용액에
대하여 사용이 가능하고, 또한, 실용적인 설계로 공간활용도를 극대화 하였습니다.
뿐만 아니라 국내 최초로 탈기모듈 국산화 개발에 성공하였으며,이를 통하여 해외경쟁사의
제품과 비교하여 향상된 효율과 가격경쟁력을 갖춘 제품을 생산하게 되었습니다.
일반사양일 경우 제조일이 30일의 여유 일수가 필요 할 수 있으니 유의 하십시오.
*특주사양일 경우 담당자에게 문의 바랍니다.
· 제품사양
DS - 05S | DS - 15S | DS - 30S | ||
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품 명 | 탈기 Module | |||
막 재 질 | PFA | |||
막 면 적 | 약 1.5㎡ | 약 2.8㎡ | 약 7.5㎡ | |
크 기 | 102*180mm | 102*260mm | 165*345mm | |
재질 | MODULE BODY | SUS 304 | ||
SEALING | PERFLUORO(FFKM) | |||
FITTING | PFA | |||
표준유량(cc/min) | 50 | 150 | 600 | |
최대유량(cc/min) | 150 | 350 | 1,000 | |
탈기성능 (유량조건) |
탈기 효율 90% 이상 | |||
(30cc/min) | (150cc/min) | (600cc/min) | ||
접속구경 | 액입구 | PILLAR FITTING (free size) | ||
액출구 | PILLAR FITTING (free size) | |||
진공구 | PT 1/8" | |||
최고사용온도 | 150이하 | |||
최고사용압력 | 0.4MPa | |||
상용압력 | 0.3MPa 이하 | |||
최고사용진공압 | 4.21kPa |
DS-15SD
DS-05S
DS-15S
DS-30S
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